新設 半導体工場の排ガス改善排出基準値クリア対象物質ヤニ・タール含有ガス ダウンロード排ガス処理の悩みをアイエンスに相談する排ガス処理製品を詳しく見る100%気液接触を実現した湿式スクラバー(排ガス処理装置) デオライザー循環水浄化機能を備えたスクラバー。水膜による確実な集塵・脱臭を実現